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STK-5020_SINTAIKE晶圆减薄后撕膜机是半自动
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发布时间: 2021-10-21 13:07
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详细信息

STK-5020_SINTAIKE晶圆减薄后撕膜机是半自动,桌上型




SINTAIKE STK-5020晶圆减薄后撕膜机规格参数:

晶圆尺寸:8”&12”晶圆;

厚度:150 ~750 微米;

晶圆种类:硅、砷化镓;平边或 V 型缺口晶圆;

撕胶膜种类:撕膜胶带;

                   宽度:38~100 毫米;

                   长度:100 米;

撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可调节;

撕膜温度:室温到 100 ℃范围可调,控温精度+/-3℃;

晶圆台盘:通用防静电特氟隆涂层接触式金属台盘;

                带可控加热功能,温度高可达 100℃;

                台盘带吸真空功能;

装卸方式:晶圆手动放置与取出;

防静电控制:内置防静电离子发生器;

晶圆定位:弹簧销钉定位;

控制单元:基于 PLC 控制,并配有 5.7”触摸屏;

驱动单元:伺服马达驱动;

安全保护:配置紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电 220V,6A; 

压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟 80 升/分钟;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

机器指示:三色灯塔显示机台工作状态;

体积:660 毫米(宽)x1170 毫米(深)x870 毫米(含灯塔高); 

净重:75 公斤;




SINTAIKE晶圆减薄后撕膜机(半自动)性能:

晶圆收益:≥99.9%; 

撕膜质量:无裂片;

每小时产能:≥ 80 片晶圆;

更换产品时间:≤ 5 分钟;



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