8230_ADT全自动双轴12寸切割机

8230_ADT切割机是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。大切割工件尺寸可达12英寸。

ADT 8230全自动双轴12寸切割机特点：

· 灵活性-支持大3英寸刀片；

· 支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割)；

· 使用17英寸触摸显示屏，操作界面直观；

8230全自动双轴12寸切割机其它重要特点

· 切割效率高-大幅降低使用成本；

· 空气主轴；

· 快速自动对齐及切割定位，提高切割效率；

· 高精度的自动刀痕检测及切割质量分析；

· 切割过程数据记录和统计分析；

· 更换刀片时锁定主轴，操作更快速、简便；

· SECS/GEM通信标准；

· 机器维护时可触及系统的任何区域，带来维护的便利性；

ADT全自动双轴12寸切割机8230规格：

MAX工作盘尺寸                 φ300mm

X轴     切割范围                 310mm

          进刀速度输入范围 0.1-600mm/s

Y1&Y2轴   切割范围                 310mm

                 单步步进量 0.0001mm

                 定位精度                 Within 0.002/310 mm

　                                （Single step accuracy）within 0.002/5

Z轴     大行程                 30mm（对应2英寸刀片）

          移动分辨率                 0.0001mm

          重复精度                 0.001mm

θ轴     大旋转角度                 380deg

主轴    主轴类型                 对向式双主轴

          额定扭矩                 0.33（1.8kw）N.m

          高回转速                 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1

刀片尺寸                                 2"

视觉系统                                 1倍和8倍高清光学相机 相机光源：LED（直光 & 斜光）

尺寸（W×D×H）                 1220 × 1550 × 1850 mm

重量                                 Approx 2000kg

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