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STK-6050半自动晶圆减薄贴膜机_Sintaike
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发布时间: 2021-11-03 17:41
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详细信息

STK-6050半自动晶圆减薄贴膜机_Sintaike

STK-6050半自动晶圆减薄贴膜机是专利设计的柔性滚轮贴膜+弹簧刀系统。




STK-6050半自动晶圆减薄贴膜机特点: 

8”- 12”晶圆适用;

专利设计的滚轮贴膜;

自动胶膜进给及贴膜;

手动晶圆上下料;

自动切割胶膜,省力;

蓝膜、UV 胶膜可选;

PLC+触摸屏;

配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;



 

Sintaike半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050规格:

晶圆直径:8”- 12”晶圆;

晶圆厚度:100~750 微米;

晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料;

               单平边,双平边,V 型缺口;

膜种类:蓝膜或者 UV 膜;

贴膜方法:滚轮贴膜;

晶圆台盘:接触式晶圆台盘;

晶圆台盘加热:MAX可达 120℃ (对应接触式台盘,可 选); 

晶圆放置精度:X-Y: +/- 0.5 毫米; Θ : +/- 0.5°;

装卸方式:手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测;

防静电控制:去离子风扇;

切割系统:自动刀;

控制单元:基于 PLC 控制,10.4”触摸屏;

电源电压:单相交流电 220V,10A; 

压缩空气:60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺;

灯塔:三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测;

安全:配置安全光帘和紧急停机开关;

体积:950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ; 

净重:300 公斤;

 



半自动晶圆减薄贴膜机性能:

晶圆收益:≥99.9%; 

贴膜品质:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

Cycle Time: ≤ 45 秒(不包含上料/下料时 间);

MTBF:>168 小时;

MTTR:<1 小时;

停机时间: <3%; 

更换产品时间:≤ 10 分钟。



了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_mounter/




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