水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂适用于半导体

水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂特点： 

带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂

适用于并列配置工位的传送

非接触校准功能可实现搬运

可搬运重量10kg

4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂基本参数：

使用环境                      洁净间内的大气环境

手臂                            单臂

到达距离                      1290 mm (被搬送物体中心到达距离)

升降轴MAX行程           400 mm

可搬运质量                  10 kg (手臂第3关节处基准)

了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm

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