冈本晶圆研磨机GNX200B_OKAMOTO

冈本OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B特点：

·GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术。

·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化

·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。

·耗材损耗小，成本低廉。

·研磨废料精细减轻废水处理负担。

·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。

冈本OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B规格：

规格                     GNX200B     

大加工直径     Ф200     

轴承旋转数     0~3600min-1     

轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P    

轴承进给速率     1~999μm/min

主轴数                     2

工作轴旋转数     1~300min-1

轴承尺寸（外径）          Ф250    

质量                     3900mm     

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