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STK-7050半自动晶圆切割膜贴膜机 衡鹏
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发布时间: 2021-11-11 19:19
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详细信息

STK-7050半自动晶圆切割膜贴膜机 衡鹏




STK-7050半自动晶圆切割膜贴膜机特点:

自动滚轴贴膜技术;

手动放置和取出晶圆/承载环;

自动胶膜进给和贴膜;

自动收隔离纸,适用于UV膜和非UV膜;

自动圆形切刀切割膜;

自动撕膜,收废膜 (选项); 

晶圆台盘温度可编程控制,MAX可达120℃;

标准 12”晶圆台盘用于 12”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;

PLC 控制,带 7”触摸屏;

配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;

三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;




STK-7050半自动晶圆切割膜贴膜机规格参数: 

贴膜原理:自动滚轴贴膜技术;

晶圆直径:12”;

晶圆厚度:100~750 微米;

晶圆种类:正常的 V 型缺口晶圆;

膜种类:蓝膜、UV 膜;

            320 毫米 UV/非 UV 膜;

            长度:100 米;

            厚度:0.05~0.2 毫米;

晶圆承载环:12”DISCO 或者 K&S 标准;

贴膜定位精度:±1mm; 

装卸方式:手动晶圆/承载环放置与取出;

防静电控制:去离子风扇;

台盘温度:室温~ 120℃,可编程控制;

切割系统:环型切刀用于 12”DISCO 承载环;

控制单元:基于 PLC 控制,带 7”触摸屏;

安全防护:配置光帘保护和紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电 220V,16A; 

压缩空气: 60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺;

机器结构:全铝型材制造,坚固耐用;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

体积:800 毫米(宽)*1450 毫米(深)*1980 毫米(高); 

净重:350 公斤;




半自动晶圆切割膜贴膜机性能:

晶圆收益:≥99.9%; 

贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能:≥80 片晶圆;

MTBF:>500 小时;

MTTR:<1 小时;

停机时间:<3%;




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