有利于实现设备的小型化_3轴晶圆搬运机械手臂

3轴晶圆搬运机械手臂（小径晶圆用）特点： 

超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SSCR3090S系列

适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，

有利于实现设备的小型化

机械手臂标准臂长：90mm

同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂

全轴使用2相步进电机

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指

了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm

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