真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械

真空3轴圆柱坐标型_晶圆搬送机械特点： 

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列

双手指结构可以在真空腔室内搬运4kg以下的托盘

相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封：磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供优的手指

真空3轴晶圆搬送机械臂基本参数：

使用环境                   洁净间内的大气环境真空

手臂                         单臂

到达距离                   640mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴大行程         60mm

可搬运质量                10kg (手臂第3关节处基准)

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